20.05.2026 12:37:28
Источник: ELEC.RU
Это событие, которое ещё несколько лет назад казалось несбыточным. Российский фотолитограф — не макет, не опытный образец за стеклом на выставке, не пресс-релиз с обещаниями. Зеленоградский нанотехнологический центр начал продажи. Реальные поставки реального оборудования реальным производителям.
Для страны, которая не производила современных промышленных литографов, это — веха.
Что такое литограф и почему он решает всёЛитограф — сердце любого производства . Именно эта установка переносит рисунок будущего чипа на кремниевую пластину с помощью света. Без неё не существует ни одного производства микроэлектроники — ни военного, ни гражданского, ни космического.
В СССР существовало производство литографического оборудования — установки серии «Электроника», «Микрон» и другие. Но современных промышленных литографов, отвечающих актуальным нуждам производства, Россия не выпускала. Всё актуальное оборудование на отечественных заводах — импортное, западных и японских производителей. После 2022 года поставки прекратились. Обновлять парк оборудования стало невозможно. Производственные линии медленно устаревали.
Именно в этот момент ЗНТЦ сделал то, что от него ждала вся отрасль.
Источник: ЗНТЦ
От чертежа до продажи: путь длиной в четыре годаЗеленоградский нанотехнологический центр взялся за разработку собственного литографа в 2021 году, когда санкционные риски ещё только обозначались, а не стали реальностью. В марте 2025 года разработка была завершена. В апреле 2026 года начались продажи.
Первый российский современный промышленный фотолитограф с разрешением 350 нм — не просто копия чего-то существующего. Это оригинальная инженерная разработка с рядом принципиальных решений:
рабочее поле увеличено с 3,2×3,2 мм до 22×22 мм — многократный прирост производительности; максимальный диаметр обрабатываемых пластин вырос со 150 до 200 мм — соответствие современным производственным стандартам; вместо ртутной лампы применён твердотельный лазер — более мощный, долговечный и точный источник излучения.Один из первых потенциальных заказчиков — «Микрон», крупнейший российский производитель микросхем. Это не случайный выбор: «Микрон» производит широкий спектр изделий, включая карты «Мир» и транспортные карты «Тройка», и остро нуждается в отечественном производственном оборудовании.
Куда движется ЗНТЦ дальшеГенеральный директор ЗНТЦ Анатолий Ковалёв в интервью ежегоднику «Живая электроника России — 2026» раскрыл дорожную карту, которая звучит как заявка на серьёзную программу:
с 2027 года — производство установки проекционного экспонирования с разрешением 130 нм; в разработке — установка электронно-лучевой литографии с разрешением 150 нм; в разработке — установка контроля дефектности поверхности пластин с обнаружительной способностью 45 нм; начата разработка кластерной линии фотолитографии для субмикронной DUV-литографии при изготовлении СБИС на пластинах диаметром 200 мм.Это не просто следующее поколение одного прибора. Это формирование полноценной российской школы электронного машиностроения: от литографа до контрольно-измерительного оборудования.
Где находится мировая литографияЗдесь важна честность. Мировые лидеры работают на принципиально иных нормах:
С 2019 года ведущие производители TSMC, Samsung и Intel перешли на EUV-литографию для техпроцессов 7 нм и ниже; К 2025 году EUV стала стандартом для производства чипов на 5 нм, 3 нм и 2 нм; TSMC запустила полномасштабное производство микросхем по топологии 2 нм в конце 2025 года — это самый тонкий серийный техпроцесс в мире на сегодняшний день; Массовое производство чипов по нормам 1,4 нм с применением новых литографов ASML серии High-NA ожидается в 2027–2028 годах.Создано с помощью ИИ
Разрыв между 350 нм российского литографа и 2 нм TSMC — это факт, который нужно называть прямо. Но этот разрыв не отменяет значимости события. Он объясняет, почему оно важно именно сейчас.
Почему 350 нм — это не вчерашний день, а стратегический выборГонка за нанометрами захватывает воображение, но производство реальной электроники устроено иначе. Нормы 2–5 нм нужны для флагманских процессоров смартфонов и ИИ-ускорителей. Это потребительская и серверная электроника высшего класса.
Однако колоссальный пласт критически важных изделий производится на нормах от 90 до 500 нм:
для промышленной автоматики и приборостроения; и преобразователи энергии; радиационно-стойкие микросхемы для спутников и космических аппаратов; СВЧ-компоненты для радиолокации и систем связи; специализированные микросхемы для оборонных применений; аналоговые схемы, сенсоры, датчики всех типов.Именно в этом сегменте российская промышленность испытывала острейший дефицит отечественного оборудования. И именно здесь российский литограф 350 нм закрывает реальную производственную потребность — не гипотетическую, не перспективную, а сегодняшнюю.
130 нм, к которым ЗНТЦ движется к 2027 году, — это уровень, на котором производятся полноценные микроконтроллеры, специализированные процессоры и широкий спектр аналогово-цифровых схем. Это серьёзный следующий рубеж.
Что означает этот момент для всей отраслиЗНТЦ преодолел барьер, который казался непреодолимым. Не на бумаге — в металле, оптике и программном обеспечении. С реальными покупателями и реальными поставками.
Это означает, что российская микроэлектроника впервые получает возможность не просто производить чипы на существующем оборудовании, но и развивать производство на собственной технологической базе. Обновлять парк оборудования. Двигаться вперёд независимо от того, что решат в Амстердаме или Вашингтоне.
Путь до передового края мировой литографии долог. Но первый российский современный промышленный литограф — это не точка отставания. Это точка отсчёта.
Подробнее: https://www.elec.ru/publications/elektronika/9940/
((__lxGc__=window.__lxGc__||{'s':{},'b':0})['s']['_213621']=__lxGc__['s']['_213621']||{'b':{}})['b']['_651743']={'i':__lxGc__.b++}; Дни активности радиолюбителей Саратовской области с 22 по 31 мая 2026 (window.smiq = window.smiq || []).push({});
